Plasma etching in microdevice fabrication : thin film and process integration aspects

Plasma etching in microdevice fabrication : thin film and process integration aspects

datePublished

• 1995

description

• kuvitettu
• Nimiösivulla myös: VTT Electronics. - Tiivistelmä ja 6 erip. - Tiivistelmä ilm. myös erillisenä

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 435695
• propertyID: FI-MELINDA value: 000805327
• propertyID: skl value: fx435695

isbn

• 9516664504

isPartOf

• Acta polytechnica Scandinavica. Physics
• Fennica

name

• Plasma etching in microdevice fabrication : thin film and process integration aspects

numberOfPages

• 41, [36] s.

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Espoo organizer: Teknillisten tieteiden akatemia

publisher

• Teknillisten tieteiden akatemia