@prefix ns1: .
@prefix rdf: .
@prefix rdfs: .
@prefix schema: .
@prefix skos: .
@prefix xml: .
@prefix xsd: .
a ,
schema:CreativeWork ;
ns1:P60048 ;
ns1:P60050 ;
schema:datePublished "2011" ;
schema:description "Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 7 eripainosta.",
"kuvitettu" ;
schema:exampleOfWork ;
schema:identifier [ a schema:PropertyValue ;
schema:propertyID "FI-MELINDA" ;
schema:value "005971445" ],
[ a schema:PropertyValue ;
schema:propertyID "skl" ;
schema:value "fx988884" ],
[ a schema:PropertyValue ;
schema:propertyID "FI-FENNI" ;
schema:value "988884" ] ;
schema:isPartOf ;
schema:isbn "9789526035925" ;
schema:name "Fabrication process development for silicon micro and nanosystems" ;
schema:numberOfPages "46, [54] sivu" ;
schema:publication [ schema:location [ schema:name "Espoo" ] ;
schema:organizer ] ;
schema:publisher .
a ,
schema:CreativeWork ;
schema:description "Yhteenveto-osa julkaistu myös verkkoaineistona ISBN 978-952-60-3593-2 (PDF)" ;
schema:exampleOfWork ;
schema:isPartOf ;
schema:name "Fabrication process development for silicon micro and nanosystems" .
a ,
schema:Book,
schema:CreativeWork ;
schema:bookFormat schema:EBook ;
schema:exampleOfWork ;
schema:isPartOf ;
schema:name "Fabrication process development for silicon micro and nanosystems" ;
schema:url .
schema:name "Chekurov, Nikolai" .
schema:name "pii" .
schema:name "valmistustekniikka" .
schema:name "mikrorakenteet" .
schema:name "nanorakenteet" .
schema:name "valmistus" .
schema:name "silikoni" .
schema:name "Aalto-yliopisto" .
a ,
schema:CreativeWork ;
ns1:P60049 ;
schema:about ,
,
,
,
,
;
schema:author ;
schema:inLanguage "en" ;
schema:isPartOf ;
schema:name "Fabrication process development for silicon micro and nanosystems" ;
schema:workExample ,
,
.
schema:name "Fennica" .