National Library of Finland
Open Data and Linked Data Service
Search works, persons, organizations and subjects:
Fabrication of SOI micromechanical devices
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:W00392548200
author
Kiihamäki, Jyrki
contributor
Valtion teknillinen tutkimuskeskus
inLanguage
en
isPartOf
Fennica
name
Fabrication of SOI micromechanical devices
P60049
<http://rdaregistry.info/termList/RDAContentType/1020>
Instances
-
2005 : Valtion teknillinen tutkimuskeskus
Fabrication of SOI micromechanical devices
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00392548201
description
Julkaistu myös verkkoaineistona
isPartOf
Fennica
Julkaisu / Teknillinen korkeakoulu, talonrakennustekniikka
name
Fabrication of SOI micromechanical devices
View this in Finna
Fabrication of SOI micromechanical devices
URI:
http://urn.fi/URN:NBN:fi:bib:me:I00392548200
datePublished
2005
description
kuvitettu
identifier
propertyID:
FI-FENNI
value:
799932
propertyID:
FI-MELINDA
value:
003925482
propertyID:
skl
value:
fx799932
isbn
9513664359
9513864359
isPartOf
Fennica
Julkaisu / Teknillinen korkeakoulu, talonrakennustekniikka
name
Fabrication of SOI micromechanical devices
numberOfPages
87, [28] sivu
87, [35] sivu
P60048
<http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>
P60050
<http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>
publication
location:
Espoo
organizer:
Valtion teknillinen tutkimuskeskus
publisher
Valtion teknillinen tutkimuskeskus
Download this resource as RDF:
Turtle
RDF/XML
N-Triples
JSON-LD