Lithographic patterning by an atomic force microscope

Lithographic patterning by an atomic force microscope

datePublished

• 1995

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 461943
• propertyID: FI-MELINDA value: 000819035

isbn

• 9513407020

isPartOf

• Fennica
• Lab. rep. - Dep. Phys., Univ. Jyväsk

name

• Lithographic patterning by an atomic force microscope

numberOfPages

• 70 lehteä

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Jyväskylä organizer: Jyväskylän kasvatusopillinen korkeakoulu Jyväskylän yliopisto

publisher

• Jyväskylän kasvatusopillinen korkeakoulu
• Jyväskylän yliopisto