Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

about
author
inLanguage
  • en
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication
P60049

Instances

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

isbn
  • 9789526119908
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

description
  • Yhteenveto-osa julkaistu myös verkkoaineistona
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

description
  • Julkaistu myös painettuna
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

isbn
  • 9789526119915
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

bookFormat
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication
url

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

datePublished
  • 2015
description
  • Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 5 eripainosta.
  • kuvitettu
  • Nimiösivulla myös: Department of Physics and Mathematics.
identifier
  • propertyID: FI-MELINDA value: 009228833
isbn
  • 9789526119908
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication
numberOfPages
  • 66, [48] sivu
P60048
P60050
publication
  • location: Joensuu organizer: Itä-Suomen yliopisto
publisher

Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication

bookFormat
datePublished
  • 2015
description
  • Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa.
  • Nimeke nimiösivulta.
  • Nimiösivulla myös: Department of Physics and Mathematics.
identifier
  • propertyID: FI-MELINDA value: 009228834
isbn
  • 9789526119915
isPartOf
name
  • Benefits of atomic layer deposition in nanophotonic device fabrication
numberOfPages
  • 1 verkkoaineisto (79 s.)
P60048
P60050
publication
  • location: Joensuu organizer: Itä-Suomen yliopisto
publisher
url

Download this resource as RDF: