Vapour deposited TiN and TiC diffusion barriers

Vapour deposited TiN and TiC diffusion barriers

datePublished

• 1986

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 26207
• propertyID: FI-MELINDA value: 004060267
• propertyID: skl value: f880195

isPartOf

• Fennica
• Raportti / Tampereen teknillinen yliopisto, materiaaliopin laitos

name

• Vapour deposited TiN and TiC diffusion barriers

numberOfPages

• [12] lehteä

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Tampere organizer: Tampereen teknillinen korkeakoulu Tampereen teknillinen yliopisto. Optoelektroniikan tutkimuskeskus

publisher

• Tampereen teknillinen korkeakoulu
• Tampereen teknillinen yliopisto. Optoelektroniikan tutkimuskeskus