Matalan lämpötilan CVD-menetelmistä

Matalan lämpötilan CVD-menetelmistä

datePublished

• 1984

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 28137
• propertyID: FI-MELINDA value: 004059505
• propertyID: skl value: f882875

isPartOf

• Fennica
• Tekninen tiedotus / / Metalliteollisuuden keskusliitto

name

• Matalan lämpötilan CVD-menetelmistä

numberOfPages

• [3], 20 lehteä

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Tampere organizer: Tampereen teknillinen korkeakoulu

publisher

• Tampereen teknillinen korkeakoulu