On preparation of photoresist layers by spincoating method

On preparation of photoresist layers by spincoating method

datePublished

• 1988

description

• kuvitettu
• Sarjalla myös engl. nimeke.

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 96943
• propertyID: FI-MELINDA value: 002676766
• propertyID: skl value: fx96943

isbn

• 9516967760

isPartOf

• Fennica
• Matemaattis-luonnontieteellisen tiedekunnan raporttisarja / Joensuun yliopisto

name

• On preparation of photoresist layers by spincoating method

numberOfPages

• [2], 7 s.

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Joensuu organizer: Joensuun yliopisto

publisher

• Joensuun yliopisto