Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography

Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography

datePublished

• 2016

description

• Artikkeliväitöskirjan yhteenveto-osa ja 5 eripainosta.
• kuvitettu
• Valvoja: Tapio Niemi.

identifier

• propertyID: FI-MELINDA value: 010001019

isbn

• 9789521538612

isPartOf

• Acta Wasaensia. Liiketaloustiede
• Fennica

name

• Nanofabrication by direct writing with four-beam laser interference and nanoimprint lithography

numberOfPages

• ix, 58 sivua, 33 sivua useina numerointijaksoina

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1048>
• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Tampere organizer: Tampereen teknillinen yliopisto

publisher

• Tampereen teknillinen yliopisto