Lasersäteilyn käyttö puolijohdepiirien valmistuksessa

Lasersäteilyn käyttö puolijohdepiirien valmistuksessa

datePublished

• 1986

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 66279
• propertyID: FI-MELINDA value: 000038650
• propertyID: skl value: fx66279

isbn

• 9514221133

isPartOf

• Fennica
• Raportti / Oulun yliopisto. Sähkötekniikan osasto. T

name

• Lasersäteilyn käyttö puolijohdepiirien valmistuksessa

numberOfPages

• [1], 41 s.

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Oulu organizer: Oulun yliopisto

publisher

• Oulun yliopisto