Co[sub 2] laser annealing of silicon

Co[sub 2] laser annealing of silicon

datePublished

• 1981

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 6872
• propertyID: FI-MELINDA value: 003363031
• propertyID: skl value: f821723

isPartOf

• Fennica
• Report : B / Teknillinen korkeakoulu. Koneinsnööriosasto. Tietojenkäsittelyoppi

name

• Co[sub 2] laser annealing of silicon

numberOfPages

• [2], 12, [12] s.

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Espoo organizer: Teknillinen korkeakoulu

publisher

• Teknillinen korkeakoulu