Laser diagnostics of chemical vapor deposition

Laser diagnostics of chemical vapor deposition

datePublished

• 2000

description

• kuvitettu
• Tiivistelmä ja 6 erip.

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 680154
• propertyID: FI-MELINDA value: 000226249
• propertyID: skl value: fx680154

isbn

• 9521505052

isPartOf

• Fennica
• Työryhmämuistio / Työministeriö

name

• Laser diagnostics of chemical vapor deposition

numberOfPages

• x, 60, [44] s.

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Tampere organizer: Tampereen teknillinen korkeakoulu Tampereen teknillinen yliopisto. Optoelektroniikan tutkimuskeskus

publisher

• Tampereen teknillinen korkeakoulu
• Tampereen teknillinen yliopisto. Optoelektroniikan tutkimuskeskus