RF-plasmalaitteiston energiahyötysuhdetarkastelut

RF-plasmalaitteiston energiahyötysuhdetarkastelut

datePublished

• 1992

description

• kuvitettu

identifier

• propertyID: FI-FENNI value: 261613
• propertyID: FI-MELINDA value: 000071122
• propertyID: skl value: fx261613

isbn

• 9512209616

isPartOf

• Fennica
• Teknillisen korkeakoulun materiaalitekniikan ja metallurgian julkaisuja / Materiaali- ja kalliotekniikan osasto

name

• RF-plasmalaitteiston energiahyötysuhdetarkastelut

numberOfPages

• 30, [22] lehteä

P60048

• <http://rdaregistry.info/termList/RDACarrierType/1049>

P60050

• <http://rdaregistry.info/termList/RDAMediaType/1007>

publication

• location: Espoo organizer: Teknillinen korkeakoulu

publisher

• Teknillinen korkeakoulu